PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-300高級版

（PICOSUN™ ALD P-300 Advanced）

名稱：原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)地：芬蘭

Picosun簡介

Picosun是yi家公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設(shè)備專為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計，并且不斷發(fā)展以提。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶包括zui 大的電子制造商，小型的型挑戰(zhàn)者以及的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類繁多的ALD解決方案都可以滿足每個客戶的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過渡到大批量工業(yè)制造中，而不會出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時，Picosun是您的合作伙伴。

PICOSUN™ R系列設(shè)備提供高質(zhì)量ALD薄膜的沉積技術(shù)，并在各種各樣的襯底上都表現(xiàn)的均勻性，包括zui具挑戰(zhàn)性的通孔的、深寬比和顆粒等樣品。我們?yōu)橐后w、氣體和固體化學(xué)物提供的更高級的，易更換的前驅(qū)源系統(tǒng)，能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長顆粒度zui小的薄膜層。在zui基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個獨(dú)立的，分離的源入口匹配多種類型的前驅(qū)源。PICOSUN™ R系列的擴(kuò)展性使ALD工藝可以從研究環(huán)境直接過渡到生產(chǎn)環(huán)境的PICOSUN™ P系列ALD系統(tǒng)。由于研發(fā)型與生產(chǎn)型PICOSUN™反應(yīng)腔室核心設(shè)計特點(diǎn)都是相同的,這消除了實(shí)驗(yàn)室與制造車間之間的鴻溝。對大學(xué)來說,突破的技術(shù)轉(zhuǎn)化到生產(chǎn)中，就會吸引到企業(yè)投資。

PICOSUN®R-300高級

Picosun™300mm生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是300mm以下晶圓的自動化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™P系列Pro和Advanced ALD設(shè)備。該工具可以獨(dú)立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊、高效的設(shè)計。集成的機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡便的維護(hù)和zui短的停機(jī)時間。PICOSUN™P系列工具保證了zui大產(chǎn)能以及zui節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。

工藝咨詢和開發(fā)，產(chǎn)能提升，維護(hù)保養(yǎng)流程和系統(tǒng)及工藝的故障排除，我們客戶化定制的PICOSUPPORT™綜合解決方案24小時快速響應(yīng)，隨時待命。在購買之前，我們的演示服務(wù)保證了設(shè)備可以滿足客戶zui苛刻的產(chǎn)線需求。

技術(shù)指標(biāo)

應(yīng)用領(lǐng)域

客戶使用PICOSUN™ R系列ALD 設(shè)備在150mm和200mm（6“和8"）晶圓上所沉積薄膜厚度均勻性數(shù)據(jù)。