熱壓印系統

EV Group的一系列熱壓花系統基于該公司市場的晶圓鍵合技術。 壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現的壓印。 熱壓印是一種經濟高效且靈活的制造技術，對于尺寸低至50 nm的特征，其復制精度非常高。 該系統非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。 壓模與基板對齊的組合可將熱壓紋與預處理的基板結構對齊。

EVG®510HE 熱壓花系統

高度靈活的熱壓花系統，用于研發和小批量生產。

EVG®520HE 熱壓花系統

經過通用生產驗證的熱壓花系統可以滿足要求。

EVG®510 HE Hot Embossing System

EVG®510HE 熱壓印系統

高度靈活的熱壓花系統，用于研發和小批量生產

技術數據

EVG510 HE半自動熱壓花系統設計用于對熱塑性基材進行壓印。該設備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能，并管理適用于熱壓花的全部聚合物。結合高縱橫比壓印和多種脫壓選項，提供了許多用于高質量納米圖案轉印的工藝。

特征

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓花應用

自動化壓花工藝

EVG獨立對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印

由軟件控制的流程執行

閉環冷卻水供應選項 ； 外部浮雕和冷卻站

技術數據

加熱器尺寸150毫米200毫米

基板尺寸150毫米200毫米

小基板尺寸單芯片100毫米

接觸力：10、20、60 kN

溫度：標準：350°C；可選：550°C

夾盤系統/對準系統：

150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200

200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，SmartView®NT

真空：標準：毫巴；可選： mbar