這款壓電物鏡聚焦定位器,壓電物鏡聚焦定位臺(tái)是Z軸壓電定位臺(tái)和Z軸壓電定位器,Piezo Positioning Stage,廣泛用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡的納米定位和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)元件亞納米定位和探針亞納米定位應(yīng)用。
壓電物鏡聚焦定位器,Z軸壓電定位臺(tái)活動(dòng)的中心部件掛在柔性彈簧上，由壓電驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)，確保了應(yīng)用的高剛度和高穩(wěn)定性。Z軸壓電定位臺(tái)的設(shè)計(jì)為運(yùn)動(dòng)提供了的線性和平整度，與經(jīng)典的采用壓電陶瓷管的掃描儀相比，它的掃描表面是球形。此外，與脆弱的壓電管相比，平行平面納米掃描臺(tái)具有高機(jī)械強(qiáng)度。
,Z軸壓電定位臺(tái)配備了電容位移傳感器，包括在數(shù)字反饋鏈系統(tǒng)內(nèi)，進(jìn)行數(shù)字閉環(huán)控制。它提供了高精度和線性運(yùn)動(dòng)，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)。測量電容傳感器的TDC芯片（時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器），安裝柱離傳感器zui近的位置，發(fā)出電子信號與測量得的電容成正比。這樣可以將外部噪音的影響降至zui低，還可以使用長電纜連接到控制器。
Z軸壓電定位臺(tái)特點(diǎn)
雙電容傳感器反饋技術(shù)
低頻噪聲電阻
補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變效應(yīng)
垂直方向上的位移行程100µM
超高分辨率，為0.1nm
可以負(fù)載的樣品重量高達(dá)300g
低成本
設(shè)計(jì)緊湊，重量輕，剛度高
是顯微鏡應(yīng)用的理想定位裝置
通用性強(qiáng)
具有真空型號
設(shè)計(jì)在單軸上移動(dòng)和定位。特別是，沿光軸移動(dòng)透鏡，對應(yīng)樣品表面或樣品中的對象來觀察聚焦位置變化。而且，的Z軸目標(biāo)納米定位臺(tái)是3D激光共聚焦顯微鏡的一個(gè)關(guān)鍵元件。與XY工作臺(tái)聯(lián)合在XY平面中使用，這樣的系統(tǒng)可以得到各種物體的完整三維激光共聚焦圖像。并且，Z軸目標(biāo)納米定位臺(tái)雖然只可以移動(dòng)顯微鏡透鏡，但是使用沒有受限。
使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制  8NTS-Z壓電工作臺(tái)。

應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計(jì)量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
微操作等。

 產(chǎn)品規(guī)格
 運(yùn)動(dòng)性能
   主動(dòng)軸     Z
   分辨率（閉環(huán)）, nm        1
   分辨率（開環(huán)）, nm        0.1
 整個(gè)范圍內(nèi)的角度傾斜, °        <0.01
 zui大掃描速度，Hz                     10
 控制性能
    電容量Z軸, pF        15
 力學(xué)性能
 諧振頻率Z軸, kHz        0.5
 負(fù)載力, g        300
 工作溫度范圍，°C              - 40…80
 尺寸, mm        108 x 73 x 67.5 mm
 材質(zhì)                        鋁