臺式濺射鍍膜儀又叫噴金儀,Sputter Coater,能夠均勻地涂覆非導電或?qū)щ姴涣紝щ娫嚇由系慕穑ˋu),銀(Ag),鈀(Pa)和鉑(Pt)薄膜等貴金屬,是進口濺射鍍膜儀品牌中濺射鍍膜儀價格適中的噴金儀。
臺式濺射鍍膜儀良好設計使用戶能夠輕松地裝載和卸載樣品并快速更換目標。
和噴金儀特征
貴金屬涂層,如金(Au),銀(Ag)等
觸摸屏和彩色顯示屏
能夠繪制濺射參數(shù)圖
包括用于圖形,數(shù)據(jù)提取和軟件更新的USB端口
厚度監(jiān)測系統(tǒng),用于測量涂層過程中的厚度
兩級,直驅(qū)170 L / m,旋片泵
150 mm外徑x 150 mm Pyrex氣缸室
0-100 mA開關電源
極限真空:小于30毫托
氣體:氬氣 - 99.999%(調(diào)節(jié)至2-5psig);但不需要
手動或自動定時和厚度濺射
控制濺射速度,達到更精細的晶粒結構
高精度石英晶體厚度監(jiān)視器
在濺射過程中保護樣品免受加熱
關閉時系統(tǒng)自動通風。氮氣排放氣(可選)
獨立于壓力自動控制濺射功率
自動控制陰極的溫度,以保護磁體的使用壽命
使用全自動觸摸屏控制快速輸入數(shù)據(jù)
精密計量閥為了控制真空壓力
繪制壓力,厚度和電流曲線
將曲線和濺射過程數(shù)據(jù)通過USB端口傳輸?shù)絇C
ISO 9001:2008,CE認證
和噴金儀技術規(guī)格
| 熱電偶規(guī) | 0.001-1mbar |
| 磁控濺射陰極 | 2英寸 |
| 微控制器 | 用于自動編程過程 |
| 觸摸屏監(jiān)視器7“ | 編程,處理,參數(shù)說明 |
| 真空室 | 派雷克斯室7英寸 |
| 目標 | 0.15毫米金 |
| 水晶厚度計頭 | 石英晶體保持性 |
| 薄膜厚度監(jiān)視器 | 程序能力和1nm進動 |
| 樣品架 | SEM樣品架標準(電動) |
| 旋轉(zhuǎn)葉片泵 | 14m3 /小時。 2級油封 |
| 快門 | 電子快門 |
| 計量閥 | 細針 |
| 自動排氣閥 | 1/4“電動 |
| 主體 | 金屬立方體300x500x500 mm |
| 外形尺寸 | 450mm H×500mm寬×370mm D |
| 裝運重量 | 18千克(不含真空泵)34千克泵 |
| 直流電源 | 0-100 mA |
| 功率 | 220V-50Hz-6A |











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