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微量氣體分析儀

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：GA-360E
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：元素分析儀器
  • 所在地：上海市
  • 信息完整度：
  • 樣本：
  • 更新時(shí)間：2023-02-05 13:24:00
  • 瀏覽次數(shù)：5
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  • 經(jīng)營(yíng)模式：代理商
  • 商鋪產(chǎn)品：879條
  • 所在地區(qū)：上海上海市
  • 注冊(cè)時(shí)間：2023-02-05
  • 最近登錄：2023-02-05
  • 聯(lián)系人：盛先生 （經(jīng)理）
  • 電    話：18930767719

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

微量氣體分析儀
它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 （N2、O2、He、Ar、H2、Air） 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 （檢測(cè)感度可至10ppb） 連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)，所以沒有零點(diǎn)漂移，能夠獲得穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過(guò)19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。

詳情介紹

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式，沒有零點(diǎn)漂移，可以獲得穩(wěn)定的連續(xù)檢測(cè)值。

不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，維護(hù)性得到了提高。

由于搭載有流量（壓力）異常、斷路器（電磁閥）、失火報(bào)警（GA-360E）、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

測(cè)量原理

GA-360E:交替流動(dòng)調(diào)制方式非分散紅外線分析法

GA-360E

交替流動(dòng)調(diào)制方式火焰電離檢驗(yàn)方法

檢測(cè)對(duì)象氣體

GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)可選取2種成分

檢測(cè)量程

GA-360E:0?1/2/5/10ppm

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