- 采用島津的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細管透鏡]，X射線只照射樣品的50μmφ微小領域，實現高靈敏度、高精度分析。
- 可以在大氣中進行從輕元素到重元素（Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400）的分析。
- 配備雙CCD（高倍率,低倍率）攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置，進行分析。
- 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數（BG-FP）法。
- 作為微區Ｘ射線熒光光譜分析裝置，在世界上配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動交換機構，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線，提高信噪比。
- 配備多元素同時/自動掃描成圖功能。采用高速掃描成圖，在短時間內便可獲得圖像（μEDX-1200/1300）。追加透射觀察單元（選購），也可進行透射Ｘ射線的同時測定。
- 配備電子冷卻式高計數率檢測器。無需液氮，可進行高精度分析。
（μEDX-1400） - 可輕松地進行電子材料/部件的鍍層膜厚測定、異物檢測、失效解析及成圖分析。
印刷電路板焊接部分的分析 手機部件的掃描成圖分析
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