LX-10制冷循環(huán)器使用范圍：對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。LX-10產(chǎn)品概述節(jié)省水資源，可以使用水兌乙二醇混合液進行循環(huán)制冷，節(jié)約資源；嚴密的循環(huán)管路設(shè)計，防止循環(huán)水污染。

詳情介紹

LX-10制冷循環(huán)器使用范圍：對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。
LX-10制冷循環(huán)器產(chǎn)品概述節(jié)省水資源，可以使用水兌乙二醇混合液進行循環(huán)制冷，節(jié)約資源；嚴密的循環(huán)管路設(shè)計，防止循環(huán)水污染。
LX-10技術(shù)指標：

型號		LX-10	LX-25	LX-40	LX-70	LX-10A	LX-145	LX-20A
溫度范圍		-25.0～40.0℃
溫控精度		±1℃
制冷量	20℃	1000W	2500W	4000W	7000W	10000W	14500W	20000W
	0℃	700W	1500W	2400W	4000W	7500W	10000W	15500W
	-20℃	300W	550W	800W	1500W	3500W	5000W	7300W
泵流量		20L/min 1.5bar			50L/min 1.8bar
安全保護		具有自我診斷功能；冷凍機過載保護；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能
冷卻方式		水冷或風冷
溫度探頭		PT100 控制外圍設(shè)備
加注冷媒		R404A
整機重量		75kg	90kg	110kg	135kg	165kg	195kg	240kg
電源		AC 220/380V 50/60HZ

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