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被測(cè)試的導(dǎo)向系統(tǒng)展現(xiàn)了一種的無(wú)塵室適用性。 在這方面，個(gè)別無(wú)塵室等級(jí)必須考慮所需的速度和載荷。 根據(jù)SEMI E78-0998（評(píng)價(jià)），iglidur ® J和硬質(zhì)陽(yáng)極化鋁的結(jié)合在 ESD相容性中是“第1級(jí)”。
所有直線導(dǎo)軌專為干運(yùn)行設(shè)計(jì)，并在此條件下經(jīng)過(guò)了測(cè)試。 無(wú)需油或油脂被用作額外的潤(rùn)滑劑。
以下來(lái)自易格斯的導(dǎo)向系統(tǒng)已經(jīng)過(guò)測(cè)試：N40, W10, T25和T30
易格斯制造的直線導(dǎo)向系統(tǒng) NK- 02 - 40 - 02，在速度為1 米/秒時(shí)，檢測(cè)尺寸可能與計(jì)算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無(wú)塵室內(nèi)按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
根據(jù) SEMI E78-0998 ESD相容性測(cè)量結(jié)果表明，直線導(dǎo)向系統(tǒng) NK- 02 - 40 - 02可被歸類為“1級(jí)” 。 Fraunhofer IPA 報(bào)告編號(hào)：IG 0308- 295 73
易格斯直線導(dǎo)向系統(tǒng) TK-01-30-01，在速度為0.1 米 /秒時(shí)，檢測(cè)尺寸可能與計(jì)算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無(wú)塵室內(nèi)按照DIN EN 14644-1制定的ISO 3級(jí)標(biāo)準(zhǔn) “
易格斯直線導(dǎo)向系統(tǒng) TK-01-25-02，在速度為0.1 米 /秒時(shí)，檢測(cè)尺寸可能與計(jì)算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無(wú)塵室內(nèi)按照DIN EN 14644-1制定的ISO 1級(jí)標(biāo)準(zhǔn)
根據(jù) SEMI E78-0998 ESD相容性測(cè)量結(jié)果表明，直線導(dǎo)向系統(tǒng) TK-01-25-02可被歸類為“1級(jí)” 。
易格斯制造的直線導(dǎo)向系統(tǒng) TK-10-30-01，在速度為1 m/s時(shí)，檢測(cè)尺寸可能與計(jì)算的閾值相差0.2 μ m， 0.3 μ m， 0.5 μ m和5 μ m。這符合在無(wú)塵室內(nèi)按照DIN EN 14644-1制定的ISO 6級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
根據(jù) SEMI E78-0998 ESD相容性測(cè)量結(jié)果表明，直線導(dǎo)軌drylin ® WK-10-40- 15-01可被歸類為“1級(jí)” 。 Fraunhofer IPA 報(bào)告編號(hào)：IG 0308- 295 74
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