電阻率 MΩ，cm(25℃)

18以上，（95％時間）不低于17

15，（95％時間）不低于13

 12.0   

0.5  

全硅，值，μg/L

2

10

50

1000

＞1μm微粒數，值，個/mL

0.1

5

10

500

細菌個數，  值，個/mL

0.01

0.1

10

100

銅，值，μg/L

0.2

1

2

500

鋅，值，μg/L

0.2

1

5

500

鎳，值，μg/L

0.1

1

2

500

鈉，值，μg/L

0.5

2

5

1000

鉀，值，μg/L

0.5

2

5

500

氯，值，μg/L

1

1

10

1000

硝酸根，值，μg/L

1

1

5

500

磷酸根，值，μg/L

1

1

5

500

硫酸根，值，μg/L

1

1

5

500

總有機酸，值，μg/L

20

100

200

1000