CGO-4高低溫真空探針臺測試系統
77K-675K(液氮)；
超高溫度分辨率；
低溫具有穩定性
特點/應用
2至6英寸樣品臺
高真空腔體
防輻射屏設計，樣品溫度均勻性更好
77K-675K高低溫環境
兼容IV/CV/RF測試
外置多探針臂，移動行程大
經濟實用，可無縫升級
CGO-4高低溫真空探針臺測試系統
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環境測試時，空氣中的水汽會凝結在晶圓上，會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試：
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時，氧化現象會越來越明顯，并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差，物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走，并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換，因為熱脹冷縮現象，定位好的探針與器件電極間會有相對位移，這時需要針座的重新定位，針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。
腔體規格：
型號 | CGO-2/CGO-4/CGO-6 |
樣品臺尺寸 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
樣品固定 | 彈簧壓片 |
觀察窗口 | 2英寸/4英寸/6英寸 |
真空度 | 10-6torr |
探針臂接口 | 4~6個探針臂接口 |
其他接口 | 電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口 |
制冷方式 | 液氮/液氦/制冷機 |
溫度范圍 | 77K到573K/4.5K到573K |
溫控精度 | 0.1K/0.01K/0.001K |
穩定性 | ±1K/±0.1K/±0.01K |
外形 | 880mm長880mm寬600mm高/980mm長980mm寬600mm高 |
重量 | 約100千克/120千克 |
◆ 光學系統：
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平360度旋轉，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
◆ 探針臂：
X-Y-Z移動行程 | 50mm50mm50mm |
結構 | 外置探針臂，真空波紋管結構 |
移動精度 | 10微米/1微米 |
線纜 | 同軸線/三軸線/射頻線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
頻率支持 | DC-67GHZ |
針尖直徑 | 0.5微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
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