半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上,能夠配置來各種測試應用程序。
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半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(tripleCCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試
半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上,能夠配置來各種測試應用程序。
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