微位移電容傳感器?

電容位移傳感器具有的測量精度和工作壽命

單極電容傳感器是直接測量型位移傳感器。電容傳感器利用電極面和被測面之間的均勻電場來測量兩者之間的電容值變化，從而實現位移測量。非接觸測量過程保證了的測量分辨率、線性度和高測量帶寬。

單極電容傳感器和信號處理器配合使用后，可實現亞納米級的測量分辨率和高達5 kHz 的測量帶寬。對于高動態測量應用，5 kHz 帶寬下的測量分辨率仍然保持在納米級。電極面和被測面之間的高度平行安裝能夠使得單極電容傳感器獲得<0.1%的測量線性度。

護環電極保證了更高的測量線性度

單極電容傳感器的電極設計對測量線性度具有較大的影響。傳感器采用了*的護環電極設計，消除了傳感器電極邊緣的非均勻電場效應，保證了電極面和被測面之間具有一個穩定均勻的電場測量區域，因此大大提高了電容傳感器的測量線性度。

高精度加工

為了達到高精度的測量性能，單極電容傳感器的不銹鋼材質電極面是由嚴格的加工工藝和加工公差采用金剛石刀具精磨而成的，因此具有極度平整光滑的電極面，在使用過程中請重點保護電極面。

遠距離測量

配合信號前置放大器，單極電容傳感器和信號處理器之間可實現1.5米到-10米的電纜總長度；配合信號轉換器，兩者之間的電纜長度可大于10米，滿足遠距離測量應用的需要。

安裝便利，便于集成

所有的柱狀型單極電容傳感器后端都具有一個LEMO插座，可直接插入電纜進行電信號連接。在安裝或者更換柱狀型單極電容傳感器的時候，可以脫離電纜操作大大便利了安裝或拆卸。

微位移電容傳感器線性度測試報告

用戶必須同時訂購傳感器、連接電纜、前置信號放大器/轉換器（若需要）和信號處理器。中國PI公司在出廠前會針對所訂購的整套系統進行線性度校準，設定線性化因子，增益和偏置等，校準過程中消除了電纜電容的影響，并隨貨提供用戶《線性度測試報告》。

單極電容傳感器配合模擬型信號處理器可進行一個量程范圍的線性度校準；配合數字型信號處理器可進行兩個量程范圍的線性度校準并將校準參數存儲在處理器中

在線性度校準過程中，中國PI公司使用高精度的Zygo 雙頻激光干涉儀和高精度的壓電陶瓷平移臺對電容傳感器進行線性度測量和校準