鄭科探微型真空探針臺標(biāo)準(zhǔn)復(fù)合分子泵機(jī)組是一臺清潔的高真空獲得設(shè)備。此設(shè)備是根據(jù)真空知識原理，利用機(jī)械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、等離子體技術(shù)、電真空器件制造及真空的各個領(lǐng)域。設(shè)備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
鄭科探微型真空探針臺技術(shù)參數(shù)：
控制方式 | 手動人機(jī)界面控制 |
前級泵接口 | KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分 |
分子泵抽氣速率 | 140L/S |
分子泵啟動時間 | ≤2min |
空載極限壓強(qiáng) | ≤1X10-4Pa |
真空測量方式 | 冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管 |
真空測量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空測量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性： ±5% |
抽氣接口 | KF25 |
閥門類型 | KF25手動擋板閥 |
系統(tǒng)電源 | AC220V |
系統(tǒng)功率 | ≤750W |
環(huán)境溫度 | 5~32℃ |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷卻 |
濕度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
重量 | 25KG |
隨機(jī)配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個 | |
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