微型真空探針臺-探針座等實驗室方案精巧型真空腔體測試腔主要用于氣體敏感材料或其他對環境敏感性材料中的電信號測試。測試腔體內部裝有不銹鋼加熱承載臺，臺面為φ30，臺面可升溫到400℃。臺面四周裝有微型3軸可移動鎢鋼探針，特別適合微小未封裝的叉指電極等傳感器測試。
該微型真空探針臺-探針座等實驗室方案設計有進氣口和抽真空接口其真空度用機械泵可達＜5Pa分子泵可達＜-3Pa。真空信號連接處使用高級真空電極信號接頭，保證氣密性及抗干擾性能。使用時將需將待檢測的器件方在加熱臺面，探針處由3軸可移動探針手動調節移動至被測試器件的引腳處，外部信號線連接測試儀器來測試電學信號。
溫控器 | |
加熱溫度 | 35-350℃ |
溫控誤差 | ±1℃ |
熱電偶類型 | PT100高精度傳感器 |
溫控表 | 宇電溫控器 |
程序控溫 | 1段（可選30段程序控溫表） |
加熱功率 | ≤300W |
加熱電源 | AC220v |
尺寸 | 230x230x125MM |
重量 | 6kg |
真空探針熱臺 | |
腔體材質 | 304不銹鋼 |
加工方式 | 一體式CNC精加工 |
內腔體尺寸 | 137X57X21mm 容積165ML |
加熱臺尺寸 | Φ30mm |
觀察窗內徑 | Φ46mm |
觀察窗材質 | 高透光石英玻璃 |
加熱溫度 | 400℃ 注意：熱臺溫度和樣品溫度存在偏差 客戶可用PT100熱電阻貼在和樣品接近的樣品臺面測量熱電阻值對應分度值做校準。 |
信號輸出頭 | SMA母頭 配線 SMA轉BNC 1.5米 |
電學性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 500V |
抽氣口 | KF16 |
進氣口 | 6MM卡套 |
使用正壓 | ≤O.05MPa |
使用負壓 | 機械泵可獲得真空≤10Pa 分子泵可獲得真空≤10 -3 Pa |
觀察窗內徑 | φ45 |
移動探針 | |
探針規格 | 探針粗Φ0.5mm 探針尖 10μm |
上下移動距離 | 2mm |
前后移動距離 | 20mm |
左右旋轉距離 | 120° |
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