微流控芯片曝光系統(tǒng) UV-KUB 2 是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，該曝光系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺上，能夠處理可達(dá)直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，采用365 nm光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，該系統(tǒng)采用了創(chuàng)新設(shè)計，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其最小分辨率可達(dá)2μm，發(fā)散角小于2°。本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

微流控芯片曝光系統(tǒng) UV-KUB 2 技術(shù)參數(shù)：

• 分辨率 ：2µm

• 波長 ：365nm +/- 5nm

• 功率密度：35mW/cm² +/- 10%

• 曝光過程中的基材溫升：<1°C

• 曝光周期： 1秒~1小時

• 可編程循環(huán)數(shù)  ： 10

• 彩色觸摸屏 ：5.7英寸

• 功率 ： 180W

• 尺寸：260 x 260 x 260mm

• 電源：100V / 240V-50Hz / 60Hz

• 重量： 8.2kg

應(yīng)用領(lǐng)域：