可處理基片達200 mm / 8英寸

半自動單面烘烤系統

設計用于：軟烘（預烤）；硬烘

HMDS（六甲基二硅氮烷）的選配：蒸氣起泡，真空干燥

HT20e加熱臺設計用于基材的單面烘烤，用于預烘烤和后烘烤或脫水烘烤過程。尤其適用于粘合劑底漆（HMDS;六甲基二硅氮烷），可用于蒸汽底漆或真空干燥的熱板模塊。帶有電子可編程升降針的烘烤模塊，配有觸摸屏，便于操作。 軟件提供了簡單方便的過程控制和配方創建。 界面簡單易于使用，可隨時控制流程。這些溫度模塊有臺式安裝式，塔式安裝式或獨立式供選擇。

設計用于以下應用：旋涂或噴涂，顯影，烘焙和冷卻以及EBR

特點：

溫度模塊（電動）

加熱板系統帶有電動升降頂針

加熱板模塊（300°C）

電子驅動的升降針

標準的頂針由不銹鋼和PEEK制成（250°C）

升降針，可編程（根據不同停止的速度和步長）

加熱板表面上的真空管路用于固定基板

手動控制加熱板的頂蓋

集成式排氣

半自動控制器單元：

7英寸彩色觸摸屏

配方編輯器來編寫，管理和配置

實際可視化效果監控

用于配方，流程，日志文件的庫功能（例如，錯誤跟蹤歷史記錄）

具有密碼保護服務訪問權限的用戶管理

通過USB或Intranet連接進行更新和備份功能

產品參數：

基板尺寸：直徑200毫米（直徑8英寸）圓片或200x 200毫米（8 x8英寸）方片；

溫度范圍：300°C *，以1°C/步可調；

溫度精度：在100°C時<士1°C；

升降針(1套）：直徑50 mm（直徑2英寸）到直徑200 mm（直徑8英寸）或200x 200mm（8 x8英寸）；

加熱臺表面：由硬質陽極氧化鋁制成；

加熱臺頂蓋：由微拋光不銹鋼制成；

加熱臺外殼：由PP制成；

控制器單元：7寸觸摸屏；

電壓：230（110）VAC / 1Ph / N / PE / 50（60）赫茲；

CDA：8 bar，管外徑6 mm；

真空：-0.8 bar / -600bar，管外徑6 mm；

排氣爐：1 x 外徑 40毫米，80立方米/小時；

氮氣（可選）：4土2bar，管外徑6 mm；

邁可諾技術有限公司

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