產品名稱

1200℃可傾斜旋轉管式爐

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有三個冷卻風扇，殼體溫度<60℃。

2、采用高純氧化鋁纖維材料，具有的保溫性、節能性。

3、內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料，有效地提高反射率及爐膛潔凈度。

4、采用上翻蓋開啟方式，操作更容易，且可快速冷卻。

技術參數

1、電源：AC 220V   50Hz/60Hz  2.5KW

2、爐管旋轉轉速：0-7rpm

3、爐體傾斜角度：0-30°

4、加熱區域：400mm

5、工作溫度：1200℃（<2h），連續工作1100℃

6、控溫精度：±1℃

7、產率：2kg/爐

8、真空度：4.5×10-2torr

9、泄漏率：<0.1mtorr/s

可選配件

1、310A不銹鋼管（外徑Ø60mm，內徑Ø50mm，1220mm，工作溫度800℃）

2、MTS-02控制模塊