技術參數

1、電源：208V-240V AC，50Hz/60Hz單相，功率9KW（>60A保險）

2、爐體結構：雙層莫來石鋼構（不帶水冷或風冷）

3、石英管：外徑Ø110mm，內徑Ø103mm，長380mm

4、樣品架：76mm

5、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm

6、恒溫區：102mm×305mm，均勻性±5℃

7、熱偶：K型熱偶

8、溫度：溫度1100℃，額定溫度1000℃（警告：在1000℃-1100℃下保溫時間不超過600s，否則O型圈將被燒融）

9、控溫精度：±1℃

10、升溫速度：RT-800℃內50℃/s，800℃-1000℃內10℃/s

11、降溫速度：60℃/min（在200mtorr下），117℃/min（在一個大氣壓下）

12、真空度：50mtorr（機械泵），10-4torr（分子泵）

13、真空法蘭： 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭，配有兩個高溫O型圈密封

14、流量計：16ml/min-160ml/min

15、真空計：數字真空計，測量范圍10mtorr-800torr（注意：此表在氮氣下校準的，只有在氮氣和空氣下表上顯示的實際壓力，當通入任何其他氣體時，必須參考說明書中的相對氣體對照表，否則后果會嚴重）

16、水冷：如要求通冷卻水，請確定冷卻水流速3L/min、水溫20℃、水壓25PSI（建議采用循環水制冷器作為冷卻系統）

1、內爐膛表面涂有進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率，同時可延長其使用壽命。

2、石英樣品架固定在滑動法蘭上，使樣品裝載更加容易。

3、樣品架上放置76mm（3"）的AlN基片，承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導率，可使樣品放置的區域有很好的溫度均勻性（±5℃）。

4、內插式熱偶保證了溫度的準確性。

5、采用PID自動溫度控制，30段程序，并設有過熱和斷偶保護功能及自整定功能。