Q Aligner® Automated Mask Alignment System

IQAligner® 自動掩模對準系統

EVG®IQAligner®平臺經過優化，可用于200 mm晶圓的自動非接觸式接近處理。

技術數據

IQ Aligner是具有高度自動化的非接觸式接近光刻平臺，可滿足將生產線中的掩模污染降至，增加掩模壽命和提高產品良率的需求。除了多種對準功能外，該系統還通過配置進行了的安裝和現場驗證，可自動處理和處理翹曲或變薄的晶圓。標準的頂面或底面對準與集成的IR對準功能之間的混合匹配操作進一步拓寬了應用領域，尤其是在與工程或粘合基板對準時。該系統還通過快速響應的溫度控制工具集支持晶片對準跳動控制。

特征：

晶圓/基片尺寸從200 mm / 8&＃39;’

由于外部晶圓楔形測量，實現了非接觸式接近模式

增強的振動隔離

各種對齊功能提高了過程靈活性

跳動控制對齊功能

多種晶圓尺寸的易碎，薄或翹曲的晶圓處理

太鼓晶圓加工經驗

手動基板裝載能力

遠程技術支持和SECS / GEM兼容性

附加功能： 紅外對準–透射和/或反射 ；IQ對準器

技術數據

楔形補償：全自動-SW控制 ； 非接觸式；

的對齊功能： 自動對齊； 大間隙對齊； 跳動控制對齊 ；動態對齊

工業自動化功能：盒式磁帶/ SMIF / FOUP / SECS / GEM /薄，彎曲，翹曲，邊緣晶圓處理

晶圓直徑（基板尺寸）：高達200毫米；

對齊方式：上側對齊：≤± µm； 底側對齊：≤±1,0 µm； 紅外校準：≤±2,0 µm /基板材料，具體取決于

曝光設定：真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式/彎曲模式；

曝光選項：間隔暴光/洪水暴光；

系統控制，操作系統：Windows；文件共享和備份解決方案/制配方和參數；多語言用戶GUI和支持：CN，DE，FR，IT，JP，KR；實時遠程訪問，診斷和故障排除；

通量

全自動：批印刷量：每小時85片；

自動化：吞吐量對齊：每小時80個晶圓；