產品說明：
?。?）放大倍率15萬倍（Magnification Max 150,000 X）；
?。?）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；
（3）1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；
（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
?。?）Tilt（0~90）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。
產品特性：
?。?）臺式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小；
（2）*的軟件功能,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單；
（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；
?。?）掃描電鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養；
?。?）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品；
?。?）高真空設計,可調式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環境。
技術參數：
分辨率
| 5nm (30kV, SE Image)
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放大倍率
| 30~150,000 X
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加速電壓
| 1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)
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圖像檢測
| 二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
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背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image
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* Multi Detector (SE+BSE)
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觀察模式
| Standard Mode
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Charge-up reduction mode
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電子槍系統
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燈絲類型
| 預對中鎢燈絲
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偏壓系統
| 自動偏壓方式
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電子槍校正
| 手動方式
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