產(chǎn)品說(shuō)明：
（1）放大倍率6萬(wàn)倍（Magnification Max 60,000 X）；
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；
（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；
（4）通過(guò)選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
（5）Tilt（0~90）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。
產(chǎn)品特性：
（1）臺(tái)式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間小；
（2）*的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡(jiǎn)單；
（3）軟件實(shí)現(xiàn)檢測(cè)圖形實(shí)時(shí)存儲(chǔ)；
（4）掃描電子顯微鏡產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，易于維護(hù)及保養(yǎng)；
（5）自動(dòng)平臺(tái)采用中心定位模式,迅速定位待測(cè)樣品。
技術(shù)參數(shù)：
分辨率
| 15nm (30kV, SE Image)
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20nm (30kV, BSE Image)
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放大倍率
| 30~60,000 X
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加速電壓
| 5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step)
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圖像檢測(cè)
| 二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image
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背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image
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* Multi Detector (SE+BSE)
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觀察模式
| Standard Mode
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Charge-up reduction mode
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電子槍系統(tǒng)
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燈絲類(lèi)型
| 預(yù)對(duì)中鎢燈絲
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偏壓系統(tǒng)
| 自動(dòng)偏壓方式
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電子槍校正
| 手動(dòng)方式
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透鏡構(gòu)成
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聚光鏡
| 2段式磁線圈透鏡
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物鏡
| 1段式磁線圈透鏡
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探測(cè)器類(lèi)型
| SE Detector/ BSE Detector
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載物臺(tái)系統(tǒng)
| 自動(dòng)或者手動(dòng)
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