Nova™ Nano SEM 掃描電鏡供應特點

• 場發射 SEM、超穩定高電流 Schottky 電子槍。
• 的光學和探測技術，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS和STEM，可實現信息選擇和圖像優化。
• 低至50V的射束著陸能量。
• 1.4 nm @ 1 kV、無射束減速。
• 真正高分辨率的低真空FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa。
• 高達200nA的高真空或低真空分析。
• 整合式 16 位掃描/制圖引擎。
• 超潔凈、無油滾動和渦輪抽氣真空系統。
• 150 x 150 mm 高精密、高穩定壓電樣品臺（Nova NanoSEM 650）。