M215190掃描電子顯微鏡技術參數 
1.高真空模式：3.0nm 低真空模式：4.0nm 
2.低真空度1 to 270Pa，高、低真空切換 
3.樣品臺X:80mm Y:40mm T:-10 to +90degree R:360degree 
4.加速電壓0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA 
5.真空系統馬達驅動臺能譜分析接口

M215190掃描電子顯微鏡主要特點
1.既保證高電壓下的高分辨率，也可提供低電壓下高質量的圖像。 
2.全自動電子槍 
3.高靈敏度半導體背散射探頭 
4.超級圓錐形物鏡，高精度的變焦聚光鏡系統 
5.大樣品室，全對中的樣品臺，大視野觀察范圍可觀測到2厘米見方的樣品