Energetiq EQ-10SXR源包括一個19英寸的機架，該機架包含氣體子系統，功率傳輸子系統和電子控制設備；無電極Z-pinch光源組件及其集成的真空泵；以及高效脈沖調制器。這種模塊化設計可輕松集成到顯微鏡或其他應用設備。 EQ-10SXR能夠向2pi球形弧度提供高達400 milliwatts的2.8nm功率，并且將以高達2kHz的脈沖重復頻率連續運行。 EQ-10SXR安裝簡單易于使用，僅需電源，冷凍水供應，干凈的干燥壓縮空氣和高純度氮氣。

為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。