產品特點
· 的無電極Z-Pinch技術（正在申請中） 低電極碎屑/低成本
· 使用Xenon將10W轉換為2pi 產品具有更高的亮度和功率可以運用到更多的應用中
· 小等離子體尺寸 直徑小于1mm
· 小型緊湊性價比高 占地面積小
· 符合CE和SEMI S2-0715標準
典型應用
· EUV掩模檢測
· EUV測量
· EUV抗蝕劑顯影
· EUV顯微
相關文件
產品介紹
用于HVM的EUV光源的一大優勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch™技術，非常適用于計量以及研究等應用。
原理介紹
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。
產品型號及主要指標
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。