EQ-10HR是一個獨立的系統(tǒng)，可以集成到其他設(shè)備中，該系統(tǒng)內(nèi)部包括無電極Z-pinch光源組件、磁懸浮真空泵子系統(tǒng)、氣體輸送子系統(tǒng)，功率輸送子系統(tǒng)和電子控制設(shè)備。EQ-10HR能夠?qū)⒏哌_0.5 mJ /脈沖的寬帶EUV傳輸?shù)?pi球面度中，并且將以10 kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運行。

為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學接口，方便客戶進行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。