產品特點
· 的無電極Z-Pinch技術（正在申請中）低電極碎屑/低成本
· 使用Xenon將10W轉換為2pi 產品功率充足適用于各種應用
· 高達2 kHz的重復頻率 可以一周七天，每天24小時連續工作
· 小等離子體尺寸 直徑小于1mm
· 小型緊湊性價比高 每EUV瓦特的成本低 占地面積小
· 符合CE和SEMI S2-0715標準
典型應用
· EUV測量
· EUV抗蝕劑顯影
· 缺陷檢查
· EUV顯微
相關文件
產品介紹
EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinch™技術，具有緊湊易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用于測量以及研究等應用領域。該款光源已經在交付30多臺，均得到客戶的，現已經成為EUV用戶的主要光源來源。
原理介紹
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在使用上進行了如下的優化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功率和峰值亮度的不同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統外側留有光學接口，方便客戶進行應用程序設備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據需求選擇手動或者自動菜單。
產品型號及主要指標
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