一、光刻機曝光燈 應用領域：

在半導體生產的光刻中作為曝光光源。

二、技術參數：

1、電參數

• 電流類型：直流 (DC)

• 標稱功率：350W

• 額定功率：350W

• 標稱電壓：68.0V

• 標稱電流：5.15 A

2、尺寸和重量

• 直徑d：20.0 mm

• 含燈頭長度 (不含針腳/連接裝置)L2：127.00 mm

• 冷電極間隙：3.0 mm

• 光中心（LCL）：52.5mm（燈頭末端至陽極或陰極(冷)末梢距離）

3、壽命

• 壽命600 h

4、更多的產品數據

• 燈頭 (標準名稱) SFcY10-4/15

• 陽極燈頭 (標準名稱) SFcY10-4（備注：帶8-32 UNC-3 B螺紋）

• 陰極燈頭 (標準名稱) SFcY10-4（備注：帶8-32 UNC-3 B螺紋）

三、安全建議：

由于HBO燈的亮度高、紫外線輻射高、內壓高（加熱時），所有它只能在專為此目的設計的密閉外殼內工作。如果燈破裂，會釋放水銀。必須采取特定的安全措施。更多信息可在與光刻機曝光燈一起隨附的產品說明書或操作指示中查找。