工作原理:

微波等離子是由工作頻率為2.45GHz的微波激發工藝氣體放電，在真空腔內壓力到達一定范圍時充入工藝氣體,當腔內壓為動態平衡時，利用微波源振蕩產生的高頻交變電磁場將氧、氳、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進行物理轟擊與化學反應雙重作用，使被清洗物表面物質變成粒子和氣態物質，經過抽真空排出，而達到清洗目的。

技術特點:

• 等離子密度高，生產效率高，離子運動沖擊小，不會產生紫外線輻射，尤其適用于一些敏感電路的制程清洗；

• 微波等離子清洗與傳統濕法清洗相比，不需要使用大量的酸、堿、有機溶劑等，不會給環境帶來任何污染，有利于環保和人員安全，同時該清洗技術的均勻性、重復性和可控性非常好，具有三維處理能力，可以進行方向選擇；

• 微波等離子清洗機與低頻或射頻放電產生的等離子體相比，它的特點是沒有正負電極，自偏壓很小，不會產生放電污染，有效防止靜電損傷;

微波等離子清洗機 系統組成: 

（1）外殼框架系統

（2）微波放電系統

（3）真空系統

（4）供氣系統

（5）控制系統

該設備控制方式為觸摸屏+PLC，操作方式包括自動模式和手動模式，在自動模式下將不同工藝參數按照配方方式管理，可同時存儲50組同的配方。設備設計有工作氣體耗盡報警、壓縮空氣壓力低于設定值報警、泵熱過載報警、反應倉泄露率過大報警等安全功能。

微波等離子清洗機 技術參數: 

（1）腔體內部尺寸：W225*H225*D225mm

（2）頻率：微波2.45GHZ
（3）功率：50-500W可調

（4）氣路：標配兩路

（5）控制方式：PLC+觸摸屏

（6）真空監測：Priani真空計

（7）電源：380V ，50/60Hz

（8）外形尺寸：W850*H538*D600mm