工作原理：

柜式等離子清洗機是利用等離子體中的能量粒子和活性粒子與高分子表面發生作用，以達到改變表面成分的目的。對塑料、纖維、高分子薄膜等能有效地改善其表面特性以適合各種用途。無論惰性氣體等離子體還是活性氣體等離子體的表面處理都能有效地使高分子材料表面層產生大量自由基，再經等離子體活化而生成的表面自由基位置，能進一步形成特定官能團。

產品特點：

（1）不銹鋼托盤設計，可調節托盤間距；

（2）8K鏡面不銹鋼腔體，密封性好；

（3）13.56MHz射頻等離子發生器，產生高密度等高子體；

（4）觸摸屏+PLC控制，過程參數實時監控；

（5）支持各種工藝氣體，包括氬，氧，氫，氦和氟化氣體

（6）配備氣體流量監測系統，MFC針閥調節，美國世維洛克氣體管路，兩路工藝氣體配置(Ar、O₂)，雙路氣流控制，比例可調;

柜式等離子清洗機 技術參數：

（1）功率：500W/1000W (可選)

（2）頻率：13.56MHz (自動阻抗匹配)

（3）腔體材質：316 鏡面不銹鋼

（4）腔體容積：60L

（5）腔體尺寸：400(W)*450(D)*370(H)mm

（6）電極板數量：6層

（7）氣路數量：2路工藝氣體通道，可自由選擇各種工藝氣體

（8）工作真空度：<30Pa

（9）外形尺寸：900mm(L)x960mm(W) x1750 mm(H)